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通过对NF3冷凝器的优化设计,采用多层绝热抽真空新技术,针对不同的影响因素,提出了有利于高真空获取与维持的解决方案.并将各种具体措施与抽真空工艺过程控制中的各个环节相匹配,从而制定出较为科学的现行抽真空工艺流程,由此制造出优质的NF3冷凝器.
NF3冷凝器的优化和抽真空探讨
【摘 要】
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通过对NF3冷凝器的优化设计,采用多层绝热抽真空新技术,针对不同的影响因素,提出了有利于高真空获取与维持的解决方案.并将各种具体措施与抽真空工艺过程控制中的各个环节相
【出 处】
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上海轻工业
【发表日期】
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2010年3期
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