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环境扫描电子显微镜(ESEM)是针对常规扫描电子显微镜(SEM)在使用过程中暴露出来的一些重大缺陷而设计的.它淘汰了SEM中繁琐、复杂的样品准备工作,扩大了仪器的使用范围,并使图像更清晰.着重介绍了ESEM的工作原理、与此有关的真空系统构成及成像信号分析.
环境扫描电子显微镜中真空系统特点及成像信号分析
【摘 要】
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环境扫描电子显微镜(ESEM)是针对常规扫描电子显微镜(SEM)在使用过程中暴露出来的一些重大缺陷而设计的.它淘汰了SEM中繁琐、复杂的样品准备工作,扩大了仪器的使用范围,并使
【机 构】
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合肥工业大学
【出 处】
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真空与低温
【发表日期】
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2001年2期
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