【摘 要】
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对微结构的制作、微装配系统进行了研究.采用飞秒激光双光子聚合微加工技术制作有底座、精细的三维立体"拱形"微结构,其高250μm、长300μm、厚50μm.将此微结构与实验室自主
【基金项目】
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国家自然科学基金(11704204)
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对微结构的制作、微装配系统进行了研究.采用飞秒激光双光子聚合微加工技术制作有底座、精细的三维立体"拱形"微结构,其高250μm、长300μm、厚50μm.将此微结构与实验室自主搭建的二维微装配平台相结合,利用自主编程的人机交互界面驱动步进电机,远程操控微装配设备;将荧光闪烁陶瓷粉末装配到微结构中,对装配后的微结构进行荧光光谱表征发现,纯荧光粉末和微结构中的荧光粉末的发射光谱在测量误差范围内基本一致,表明荧光粉末的光学性质未发生改变.利用该装置可以将各类微纳米级材料和微结构进行装配,形成
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