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简要介绍了通过阳极氧化工艺条件的改变,确定1～3μm短波红外光导探测器阳极氧化的最佳工艺条件,从而改善了器件性能,大大提高了产品成品率.
1～3μm短波红外光导探测器阳极氧化工艺的研究
【摘 要】
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简要介绍了通过阳极氧化工艺条件的改变,确定1～3μm短波红外光导探测器阳极氧化的最佳工艺条件,从而改善了器件性能,大大提高了产品成品率.
【机 构】
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昆明物理研究所
【出 处】
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红外技术
【发表日期】
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2004年6期
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