高速钢上TiN涂层残余应力的曲率测试和有限元分析

来源 :机械工程学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：zhangfalun

【摘要】

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采用多弧离子镀在W6M05Cr4V2高速钢上沉积五种不同厚度TiN涂层，用曲率法和有限元法研究TiN涂层残余应力和构成。结果表明涂层厚度对其残余应力有很大影响，特别是对本征应力。当

【作者】

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弓满锋乔生儒卢国锋姬浩 LYASHENKO B A

【机构】

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西北工业大学超高温结构复合材料国家重点实验室,湛江师范学院机电工程系,乌克兰国家科学院强度问题研究所基辅01014乌克兰

【出处】

：

机械工程学报

【发表日期】

：

2010年6期

【关键词】

：

TiN涂层高速钢残余应力曲率法有限元法

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采用多弧离子镀在W6M05Cr4V2高速钢上沉积五种不同厚度TiN涂层，用曲率法和有限元法研究TiN涂层残余应力和构成。结果表明涂层厚度对其残余应力有很大影响，特别是对本征应力。当涂层厚度从3μm变化到11μm时，TiN涂层总残余应力分布在-3．12～-2．29GPa之间；热应力分布在-1．96～-1．92GPa之间；本征应力分布在-1．17～-0．37GPa之间。其中热应力所占的比例较大，约占62％-68％。当膜基比ξ〈0．017时，总残余应力随ξ的增加呈非线性增加：当ξ=0．017时，该值达到最大值-

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