【摘 要】
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本文通过引入渐变Al组分和脊型波导的设计，制备了1550nm高功率AlGaInAs/InP基横模半导体激光器，室温连续工作模式下器件的斜率效率达到0.35mW/mA，在500mA的工作电流下，输出功率为138mW，垂直和水平远场发散角分别为32.9°和11.1°，证明器件具有良好的基横模输出特性。同时通过高阶模截止条件温度模型的建立，研究了器件在不同温度下P-I曲线中“kink”现象与远场发散角“
【机 构】
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中国科学院半导体研究所光电子器件国家工程中心
【基金项目】
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中国科学院战略性先导科技专项（B类）（XDB43030301）；
论文部分内容阅读
本文通过引入渐变Al组分和脊型波导的设计，制备了1550nm高功率AlGaInAs/InP基横模半导体激光器，室温连续工作模式下器件的斜率效率达到0.35mW/mA，在500mA的工作电流下，输出功率为138mW，垂直和水平远场发散角分别为32.9°和11.1°，证明器件具有良好的基横模输出特性。同时通过高阶模截止条件温度模型的建立，研究了器件在不同温度下P-I曲线中“kink”现象与远场发散角“steering”现象发生的原因，阐述了温度对基横模和高阶模增益的影响机制。通过比较不同腔长器件发生“kink”的电流大小，证明了长腔长结构可以有效防止“kink”现象的发生。
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