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阳极短路型门极可关断（ＧＴＯ）晶闸管制造技术的关键工艺是短路区的制作。实验证明，短路区的制作可以用先选择性扩散Ｎ＾＋层，然后再扩散镓的方法来实现。通过扩散工艺的精确控制，以调节短路电阻，从而获得电特性的优化。
阳极短路GTO制造工艺的研究
【摘 要】
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阳极短路型门极可关断（ＧＴＯ）晶闸管制造技术的关键工艺是短路区的制作。实验证明，短路区的制作可以用先选择性扩散Ｎ＾＋层，然后再扩散镓的方法来实现。通过扩散工艺的精确控制，以调节短路电
【机 构】
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西安理工大学
【出 处】
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半导体技术
【发表日期】
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1996年2期
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