【摘 要】
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本文概要地介绍半导体射线敏感器件的发展概况、工作机理;着重地介绍各种类型半导体射线敏感器件的制造工艺、特性参量、使用范围以及它们各自的优缺点;最后简单地说明半导体
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本文概要地介绍半导体射线敏感器件的发展概况、工作机理;着重地介绍各种类型半导体射线敏感器件的制造工艺、特性参量、使用范围以及它们各自的优缺点;最后简单地说明半导体射线敏感器件的发展动态.
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