【摘 要】
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氢化非晶碳膜具有硬度高、电绝缘、光学透明、化学性能稳定等优良特性,又称为“类金刚石”碳膜。本文报导由碳氢气体的辉光放电分解而制备的氢化非晶碳膜的特性及其在金属表
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氢化非晶碳膜具有硬度高、电绝缘、光学透明、化学性能稳定等优良特性,又称为“类金刚石”碳膜。本文报导由碳氢气体的辉光放电分解而制备的氢化非晶碳膜的特性及其在金属表面防护上的应用。
Hydrogenated amorphous carbon film with high hardness, electrical insulation, optical transparency, chemical stability and other fine features, also known as “diamond-like” carbon film. This paper reports the characteristics of hydrogenated amorphous carbon films prepared by the glow discharge decomposition of hydrocarbon gas and its application to metal surface protection.
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