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在PECVD法制备的a-SiOxNy薄膜中首次观察到分立能级的红光发射，采用荧光激发谱研究了发光能级与其它能级之间的相互关系，建立了产生光跃迁的能级模型。
a—SiOxNy薄膜的红光发射能级
【摘 要】
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在PECVD法制备的a-SiOxNy薄膜中首次观察到分立能级的红光发射，采用荧光激发谱研究了发光能级与其它能级之间的相互关系，建立了产生光跃迁的能级模型。
【机 构】
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汕头大学功能薄膜材料实验室
【出 处】
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汕头大学学报(自然科学版)
【发表日期】
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2000年2期
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