兆位器件的选择性硅淀积

来源 :微电子学与计算机 | 被引量 : 0次 | 上传用户：liongliong541

【摘要】

：

本文介绍了兆位器件制造的一个重要工艺SSD(选择性硅淀积)及其在多方面的应用。 This article describes an important process for the fabrication of megabit devices, t

【作者】

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John O.Borlandael Beinglass 张桂樵

【出处】

：

微电子学与计算机

【发表日期】

：

1992年01期

【关键词】

：

单晶硅选择性氧化层淀积器件侧壁小平面核密度外延生长硅表面

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本文介绍了兆位器件制造的一个重要工艺SSD(选择性硅淀积)及其在多方面的应用。 This article describes an important process for the fabrication of megabit devices, the Selective Displacement of Silicon (SSD) and its applications in many aspects.

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