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本文研究了铁对氧碳沉淀的影响.对于高碳单晶,碳沉淀减少,氧沉淀减慢;对于低碳单晶、氧沉淀增加.
硅中铁对氧碳沉淀的影响
【摘 要】
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本文研究了铁对氧碳沉淀的影响.对于高碳单晶,碳沉淀减少,氧沉淀减慢;对于低碳单晶、氧沉淀增加.
【机 构】
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中国科学院半导体研究所
【出 处】
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半导体学报
【发表日期】
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1987年03期
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