【摘 要】
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本文通过数值模拟研究了燃烧器芯数对CVD熔石英玻璃性能的影响,讨论了采用五芯、七芯和九芯三种结构燃烧器时沉积面上的温度、OH-浓度及SiO2浓度分布,并分析了不同氢氧当量比的影响规律.结果表明:相比于五芯结构燃烧器和七芯结构燃烧器,采用九芯结构燃烧器可以在沉积面获得更加均匀的SiO2浓度分布和温度分布;当使用九芯燃烧器时,氢氧当量比为1.5可以提高沉积面上温度、OH-浓度和SiO2浓度的分布均匀性,从而有利于提高熔石英玻璃的折射率均匀性.
【机 构】
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苏州大学能源学院,苏州 215006
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本文通过数值模拟研究了燃烧器芯数对CVD熔石英玻璃性能的影响,讨论了采用五芯、七芯和九芯三种结构燃烧器时沉积面上的温度、OH-浓度及SiO2浓度分布,并分析了不同氢氧当量比的影响规律.结果表明:相比于五芯结构燃烧器和七芯结构燃烧器,采用九芯结构燃烧器可以在沉积面获得更加均匀的SiO2浓度分布和温度分布;当使用九芯燃烧器时,氢氧当量比为1.5可以提高沉积面上温度、OH-浓度和SiO2浓度的分布均匀性,从而有利于提高熔石英玻璃的折射率均匀性.
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