论文部分内容阅读
1、简介我公司研制的卧式PECVD设备专门应用于太阳能电池制造领域中氮化硅薄膜的淀积工艺。
卧式热壁型PECVD设备
【摘 要】
：
1、简介我公司研制的卧式PECVD设备专门应用于太阳能电池制造领域中氮化硅薄膜的淀积工艺。
【机 构】
：
北京七星华创电子股份有限公司微电子设备分公司
【出 处】
：
中国集成电路
【发表日期】
：
2007年7期
其他文献
<正>利用冶金渣制备高附加值陶瓷材料是其高附加值利用的有效手段。与普通建筑陶瓷相比,利用钢渣制备的陶瓷材料具有较差的外观颜色和力学性能。为了改善钢渣陶瓷的性能,本文
会议
＂第四届（2009年度）中国半导体创新产品和技术＂评选活动结果已于2010年1月20日至2月10日通过主办单位网站和《中国电子报》向业界公示,根据＂公正、公平、公开＂的原则,公开征求社会意
[目的]观察针灸结合中药熏洗治疗痔疮的临床疗效。[方法]将64例经痔疮患者随机分成针灸结合中药熏洗综合治疗组(治疗组)和单纯中药熏洗治疗组(对照组)各32例,比较两组临床疗
分析了自由粒子在一维对称双方势垒和对称双δ势垒中散射问题，严格导出了相应的透射系数．
探讨了袋鼠花组织培养过程中的外植体生长诱导与增殖培养基的筛选 ;生根及驯化移栽等关键技术环节 ;整理了一套适合袋鼠花属植物的组培快繁体系 ,使袋鼠花通过组培快繁实现大
在野外兽类考察过程中,由于多数兽类喜欢晨昏活动或昼伏夜出,加上一些外界因素的影响,工作人员要对兽类进行直接的目的性观察和持续性研究有一定的难度.但由于动物的某些生物
进一步研究了Hausdorff拓扑向量空间中的一类向量变分不等式，在一定条件下证明了该向量变分不等式解的非空性和紧性．
研究了（4＂R，5＂R）-1，1′-双（2″-4″，5″-二氢-4＂，5″-二苯基-1″-H-咪唑基）二茂铁的合成新方法．以二茂铁为起始原料，通过双甲酰化形成双甲酰二茂铁，再与手性1，2-二苯基乙二胺缩合环化，两步快