钛蒸发泵及其在核聚变试验和空间模拟中的应用

来源 :真空技术报导 | 被引量 : 0次 | 上传用户:qg20090908
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“若在冷的表面上造成活性层的话,则钛的抽气作用就大大地增强。对一般气体来说,钛的大抽速为10升/秒厘米2,饱和容量约为1016分了/厘米2,极限压强降到10-10乇以下,而且是很洁净的,所以在许多应用中引起了人们的注意。在低温下,一氧化钛(TiO)具有相同的性质,加之它又能抽除氩气 "If the active layer is formed on a cold surface, the pumping action of titanium is greatly enhanced. For general gases, the large pumping rate of titanium is 10 liters / second cm 2 and the saturation capacity is about 1016 / Cm 2, the ultimate pressure drops below 10-10 Torr, and is very clean and therefore attracts attention in many applications. Titanium monoxide (TiO) has the same properties at low temperatures, in addition to being able to pump In addition to argon
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