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本文简述了RF功率MOSFET器件的应用，分析了以LDMOSFET工艺为基础的RF功率MOSFET的功能特性、产品结构和制造工艺特点。文中结合6寸芯片生产线，设计了产品的制造工艺流程，分析了制造工艺的难点，并提出了解决方案。
RF功率MOSFET产品及其工艺开发
【摘 要】
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本文简述了RF功率MOSFET器件的应用，分析了以LDMOSFET工艺为基础的RF功率MOSFET的功能特性、产品结构和制造工艺特点。文中结合6寸芯片生产线，设计了产品的制造工艺流程，分析了
【机 构】
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上海贝岭股份有限公司先进微电子器件事业部
【出 处】
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电子设计应用
【发表日期】
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2007年2期
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