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用射频磁控溅射结合传统退火的方法制备LiCo0.8M0.2O2(M=Ni,Zr)阴极薄膜X射线衍射、拉曼光谱、扫描电子显微镜等手段表征了不同掺杂的LiCo0.8M0.2O2薄膜.结果显示,700 ℃退火的LiCo0.8M0.2O2薄膜具有类似Q-NaFeO2的层状结构.通过对不同掺杂锂钴氧阴极的全同态薄膜钮电池Li/LiPON/LiCo0.8M0.2O2的电化学性能研究表明,电化学活性元素Ni的掺杂使全固态电池具有更大的放电容量(56 μAh/cm2,μm),而非电化学活性元素Zr的掺杂使全固态电池具有更好的循环稳定性.