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期刊论文
椭偏法测量薄膜参数的实验改进
椭偏法测量薄膜参数的实验改进
来源 :物理与工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:kkkwwwbushiwo
【摘 要】
:
介绍了椭偏仪实验装置及实验调整的不足对薄膜参数测量的影响,制作了小孔光阑和可调位移平台,对光接收和实验调整做了改进,给出了改进的实验调整和实验测量方法,改进后的实验调整
【作 者】
:
姚志
丁洪斌
杨华
【机 构】
:
大连理工大学物理与光电工程学院
【出 处】
:
物理与工程
【发表日期】
:
2013年5期
【关键词】
:
椭偏仪
载物台
等幅椭圆偏振光
光接收器
ellipsometer
object stage
elliptically polarized light wi
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介绍了椭偏仪实验装置及实验调整的不足对薄膜参数测量的影响,制作了小孔光阑和可调位移平台,对光接收和实验调整做了改进,给出了改进的实验调整和实验测量方法,改进后的实验调整简单易调,测量精度得到提高.
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