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介绍了薄膜声表面波器件的发展历史和特点，以及压电薄膜声表面波器件近年来国际上的研究进展，包括理论研究与实验进展的一些概况，并展望了其今后的发展趋势。
薄膜声表面波器件的制备研究进展
【摘 要】
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介绍了薄膜声表面波器件的发展历史和特点，以及压电薄膜声表面波器件近年来国际上的研究进展，包括理论研究与实验进展的一些概况，并展望了其今后的发展趋势。
【机 构】
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电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室
【出 处】
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电子元件与材料
【发表日期】
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2008年2期
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