【摘 要】
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本文通过对我国真空设备行业制造的,在生产和应用中量大面广的水环泵、旋片泵、滑阀泵、罗茨泵、扩散泵等泵种的产能和质量分析对比,给出我国目前主要真空获得设备量和质
【机 构】
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沈阳真空技术研究所,辽宁,沈阳,110042
【出 处】
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2005’全国真空冶金与表面工程学术会议
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本文通过对我国真空设备行业制造的,在生产和应用中量大面广的水环泵、旋片泵、滑阀泵、罗茨泵、扩散泵等泵种的产能和质量分析对比,给出我国目前主要真空获得设备量和质的基本状况以及面对国内外激烈的市场竞争所应采取的对策。
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