【摘 要】
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衬底基片的宏观质量包括外形完整性、翘曲度、尺寸精度等。在分析衬底基片精密加工工艺基础上，得出影响宏观质量的因素有：晶片切片方式、粘盘的方法、研磨抛光崩边、表层应力、
【机 构】
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盐城工学院机械工程学院,江苏大学机械工程学院
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衬底基片的宏观质量包括外形完整性、翘曲度、尺寸精度等。在分析衬底基片精密加工工艺基础上，得出影响宏观质量的因素有：晶片切片方式、粘盘的方法、研磨抛光崩边、表层应力、抛光液的成份。提出采用线切割、真空粘盘，提高坯料的平整度。采用预加工保护倒角、嵌入式行星保持架，防止抛光崩边。根据不同的的衬底基片选择合适的抛光垫，配置专用化学机械抛光液，使得衬底基片化学反应速度与机械去除速度协调。从而有效控制衬底基片的宏观质量。实现了衬底基片表面完整、翘曲度小于5微米、厚度误差小于3微米。
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