【摘 要】
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以CaF_2为基底设计了一种近红外区的宽带增透膜,增透波长为0.9~1.7μm。分析了宽带增透膜初始结构的基本设计原则。分别以TiO_2和SiO_2作为高低折射率材料,采用电子束蒸发物
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以CaF_2为基底设计了一种近红外区的宽带增透膜,增透波长为0.9~1.7μm。分析了宽带增透膜初始结构的基本设计原则。分别以TiO_2和SiO_2作为高低折射率材料,采用电子束蒸发物理气相沉积(EBPVD)的方法进行工艺制备。利用岛津分光光度计对样品的透过率进行测量,样品双面镀制该膜系,测试结果表明样品的平均透过率达98.95%,与设计结果基本符合,具有宽带的增透特性。环境测试表明:该薄膜具有良好的附着力和牢固度,可以应用于对产品可靠性要求较高的环境中。
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