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以低含量微硅粉为原料,经酸浸,HF酸溶解,水解,干燥等步骤制备了纳米SiO2粉体。采用X射线衍射（XRD）,傅里叶红外光谱（FT-IR）,冷场发射扫描电镜（SEM）,及能谱（EDS）等手段对原料和产物进行了表征。结果表明制备的纳米SiO2粉体中的SiO2含量〉97%,粒径分布均匀,平均粒径约90nm,BET吸附比表面积为210m2/g。本文对废弃微硅粉的资源化具有积极的作用。