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对电气控制柜的整体到局部进行了全方面描述,如总体配置的设计、关键组成模块的原理和接线图设计,乃至控制柜的工艺和人机工程设计等。对于推动半导体专用设备的标准化、系列化研制具有重要作用。
半导体专用设备的电气控制柜设计研究
【摘 要】
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对电气控制柜的整体到局部进行了全方面描述,如总体配置的设计、关键组成模块的原理和接线图设计,乃至控制柜的工艺和人机工程设计等。对于推动半导体专用设备的标准化、系列
【机 构】
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中国电子科技集团公司第四十五研究所
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2015年11期
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