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用改善的溶胶凝胶法制备铈掺杂钛酸锶钡（Ba0.6Sr0.4TiO3，BST）薄膜，研究其结构与介电性能。X射线光电子能谱表明，铈掺杂显著地减少了薄膜表面非钙钛矿结构。但是，由于掺杂薄膜较薄且掺杂量小，X射线衍射结果未见明显变化。原子力显微镜结果表明，掺杂BST薄膜表面光滑致密。掺杂BST薄膜的介电性能大幅度提高，在40V外加电压下介电调谐率达60．8％，零偏压下的介电损耗为0．0265。同时，就有关结构及介电性能改善的机制进行了讨论。