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从集总参数模型出发，分析了热敏电阻型热探针的热传导机制和热物性测量机理，说明了扫描热探针的信号与样品表面温度，样品与探针间的热阻以及样品热导率等因素有关，在不同的工作条件下，可用以进行表面的温度分布和热导分布等热参数的测量，把扫描热显同镜有竽半导体激光器结区温度分布和室温下热桥样品的实际测量，得到的热象图了亚微米尺度的热参数信息。