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本文介绍一种晶片级可靠性(WLR)研究技术。与传统可靠性保证技术相比,WLR技术的成本低,对破坏性失效机理很敏感,工艺评价速度快。
晶片级可靠性评估
【摘 要】
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本文介绍一种晶片级可靠性(WLR)研究技术。与传统可靠性保证技术相比,WLR技术的成本低,对破坏性失效机理很敏感,工艺评价速度快。
【出 处】
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微电子学
【发表日期】
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1992年2期
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