【摘 要】
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1 引言由于氧化铝薄膜具有令人关注的优异性能，如高温稳定性、化学稳定性、低的热导率和电导率等，目前利用化学气相沉积（CVD）涂覆氧化铝薄膜作为耐磨涂层材料已广泛应用于硬质合
【机 构】
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WalterAG,豪泽（Hauzer）技术镀层公司
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1 引言由于氧化铝薄膜具有令人关注的优异性能，如高温稳定性、化学稳定性、低的热导率和电导率等，目前利用化学气相沉积（CVD）涂覆氧化铝薄膜作为耐磨涂层材料已广泛应用于硬质合金切削刀片。它在其它领域没有得到广泛应用的主要原因是这类涂层的工业规模制备需利用高温CVD进行处理。虽然CVD处理方法有许多优点，但其最大的缺点是在处理过程中需要高温（1000℃）。
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