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本文介绍了各种类型ＥＣＲ等离子体源和工艺研究，以及由此发展形成的几种新型刻蚀技术。
微波电子回旋共振等离子体刻蚀技术
【摘 要】
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本文介绍了各种类型ＥＣＲ等离子体源和工艺研究，以及由此发展形成的几种新型刻蚀技术。
【机 构】
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中国科学院等离子体物理研究所
【出 处】
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真空电子技术
【发表日期】
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1996年6期
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