论文部分内容阅读
对用于红外探测器和光声电子器件的ＰＴ薄膜的制备工艺及热处理过程进行了实验研究。对多离子束反应共溅射法制备薄膜，作了相应的Ｘ衍射、ＸＰＳ能谱及ＥＰＭＡ分析。通过实验，成功地除去了薄膜中ＰＢＯ和焦绿石杂质，并改善了ＰｂＯ和焦绿石杂质，并改善了ＰｂＴｉＯ３（００１）的择优取向程度。从而为制备衬底温度和优选提供了依据。