BCK-1型低返油玻璃扩散泵油蒸汽返流的理论分析

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本文主要从理论上分析BCK-1型低返油扩散泵的低运油性能和结构特点。在先分析普通扩散泵返油主要来源和通常采用的降低返油措施的基础上,着重从理论上阐述BCK-1泵的设计思想,并对该泵主要结构的特点作了理论分析。通过分析计算,得到了该泵的理论返油率值,且与实验数据较好地吻合,返油率在10~(-8)(毫克/厘米2·分)数量级内;同时,残余气体分析的侧面也验证了该泵的低返油性能。 This paper mainly analyzes the performance and structure characteristics of BCK-1 low back diffusion pump with low oil transportation. Based on the analysis of the main sources of return oil in common diffusion pumps and the commonly used measures to reduce oil return, this paper focuses on the design of BCK-1 pump theory and the theoretical analysis of the main structure of the pump. Through the analysis and calculation, the theoretical oil return value of the pump is obtained, which is in good agreement with the experimental data, and the oil return rate is in the order of 10 -8 (mg / cm 2); meanwhile, the residual gas analysis The side also verified the pump’s low oil return performance.
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