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复合热处理，也称作双重或混合技术，提供了具有新的组织／性能关系的基体化合物层，而处理工序是关键。这种技术能达到单项处理工艺或单项工艺的简单叠加所不能达到的性能和性能梯度化学热处理与高能柬表面淬火特别是电子束淬火相结合，使这项技术取得了显著进展。本文在评述热化学与热（表面）处理技术相结合的历程（重大事件）后，介绍了渗氮后进行电子束淬火和电子柬淬火后进行渗氮的原理及其对微观组织与性能的影响，并讨论了典型的工业应用实例、该领域的进一步发展主要是高能束（电子束或激光束）淬火与硬质涂层技术相结合．