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带筋片和凸台的高灵敏度压力传感器ＲａｌｐｈＨ．Ｊｏｈｎｓｏｎ等１．前言高灵敏度低非线性硅原阻压力传感器是人们长期为之奋斗的目标。但实现这个目标的方法已经有了改进，目前主要关心的是凸台方法。通常采用全厚度的凸台或接近全厚度的凸台以使加工过程简化。这些方...
带筋片和凸台的高灵敏度压力传感器
【摘 要】
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带筋片和凸台的高灵敏度压力传感器ＲａｌｐｈＨ．Ｊｏｈｎｓｏｎ等１．前言高灵敏度低非线性硅原阻压力传感器是人们长期为之奋斗的目标。但实现这个目标的方法已经有了改进，目前主要关心的是凸台方法。通常采
【出 处】
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现代计量测试
【发表日期】
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1994年3期
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