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要将纳米结构作为功能元件应用在微纳传感器、纳米电路等系统中,首先要解决材料的定位操作问题。在自行设计的几种电极的基础上,采用介电泳技术对SiO2微纳米材料进行操控,可以实现材料的沿电场方向的排布和电极间的跨接,为解决纳米结构的定位操作做了有益的尝试。初步测试了采用介电泳技术操控自行生长的ZnO纳米结构制作而成的湿度传感器的基本特性并取得很好的响应,表明介电泳技术可以很好得实现纳米材料在传感器领域中的应用。