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研究了大气压强dc热等离子体射流反应器中工艺参数对金刚石膜没积的影响,估计了两种不同的先质注入系统,逆流注入和侧面注入,发现使用乙醇时本质流率大大影响晶体尺寸和晶体生长平面的取向,而且,发现尖边缘的晶体尺寸比平表面的晶体尺寸大4倍,也研究了基体几何形状对沉积的金刚石的形态和面积的影响,这项研究结果表明,dc热等离子体射流提供高的金刚石沉积率,例如在金属丝和钻头上就是那样,尽管晶体尺寸和膜厚度有显著