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热等离子体反应器中不同几何形状基体上的金刚石沉积
研究了大气压强dc热等离子体射流反应器中工艺参数对金刚石膜没积的影响,估计了两种不同的先质注入系统,逆流注入和侧面注入,发现使用乙......
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热等离子体
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