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笔者之一曾在1982年发表的热力学分析的文章,结合近期国内多晶硅产业蓬勃发展的新形势和对西门子法工艺主要副产物SiCl4有效利用的迫切需要,本文试图探索四氯化硅在西门子法多晶硅生产流程中循环利用的可能途径.
四氯化硅在西门子多晶硅生产流程内部的循环利用
【摘 要】
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笔者之一曾在1982年发表的热力学分析的文章,结合近期国内多晶硅产业蓬勃发展的新形势和对西门子法工艺主要副产物SiCl4有效利用的迫切需要,本文试图探索四氯化硅在西门子法
【机 构】
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峨嵋半导体材料厂(所)
【出 处】
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东方电气评论
【发表日期】
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2004年期
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