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SnO2是最早使用也是目前使用最广泛的一种气敏材料,使用该材料设计制作的气敏传感器具有许多优点.在简要介绍溅射镀膜的成膜过程和特点的基础上,着重介绍了SnO2膜的制备流程,分析了功率和温度变化对成膜质量的影响.
二氧化锡溅射工艺研究
【摘 要】
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SnO2是最早使用也是目前使用最广泛的一种气敏材料,使用该材料设计制作的气敏传感器具有许多优点.在简要介绍溅射镀膜的成膜过程和特点的基础上,着重介绍了SnO2膜的制备流程,
【机 构】
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厦门大学机电工程系,厦门大学萨本栋微机电研究中心
【出 处】
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微纳电子技术
【发表日期】
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2003年7期
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