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LIGA技术自其发明和公开报道已有十几年的发展历史，已在世界各地发展起来，带动和激发了微机电系统——MEMS（Microelectromechanical System）加工热潮。经过十几年的努力，LIGA技术日已成熟，在很多领域内得到了应用。LIGA技术以大高宽比结构和加工厚度著称，结构高宽比可达100以上，结构厚度可在1毫米以上，是其他任何加工技术所不能够相比的。这一优越的加工能力为在微机械制造中发挥作用，提供了坚实的技术基础。该技术的目标就是制造模具，用于注塑和模压工艺过程中所需要的金属模具。通过对