【摘 要】
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由电气、电子工程师协会,美国真空学会和电化学学会联合举办的1984年电子束、离子束和光子束国际会议将于1984年5月29日至6月1日在美国纽约举行。本届会议将着重讨论电子束
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由电气、电子工程师协会,美国真空学会和电化学学会联合举办的1984年电子束、离子束和光子束国际会议将于1984年5月29日至6月1日在美国纽约举行。本届会议将着重讨论电子束、离子束及光子束技术的发展以及它们在微结构和微电路的制造上的应用,同时还讨论与此有关的新材料和新工艺等问题。论文征集范围为:
The 1984 International Conference on Electron Beams, Ion Beam and Photon Beams, co-sponsored by the Institute of Electrical and Electronics Engineers, the American Society for Vacuum Engineering and the Institute of Electrochemistry, will be held in New York, United States, from May 29 to June 1, 1984. This session will focus on the development of electron beam, ion beam and photon beam technologies as well as their applications in the fabrication of microstructures and microcircuits, as well as the new materials and processes related to them. Papers collected range:
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