热处理及SmCo磁性层对TbDyFe薄膜磁致伸缩性能的影响

来源 :稀有金属材料与工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户：chenyingtg

【摘要】

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研究了SmCo薄膜的复合及热处理对TbDyFe薄膜磁性及磁致伸缩性能的影响.XRD分析表明制备态的TbDyFe薄膜为非晶态,在450℃退火后,样品仍保持非晶态结构.退火处理减少了薄膜的垂

【作者】

：

万红邱轶斯永敏赵恂

【机构】

：

国防科技大学

【出处】

：

稀有金属材料与工程

【发表日期】

：

2004年7期

【关键词】

：

TbDyFe薄膜超磁致伸缩磁控溅射 TbDyFe thin film giant magnetostriction magnetron sputteri

【基金项目】

：

国家自然科学基金

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研究了SmCo薄膜的复合及热处理对TbDyFe薄膜磁性及磁致伸缩性能的影响.XRD分析表明制备态的TbDyFe薄膜为非晶态,在450℃退火后,样品仍保持非晶态结构.退火处理减少了薄膜的垂直各向异性,并且退火热应力有利于薄膜的易磁化轴转向膜面,从而提高了薄膜的磁导率和TbDyFe薄膜低场下的磁致伸缩值.磁控溅射的SmCo薄膜有良好的软磁性能,它的复合也能有效地增强TbDyFe薄膜的低场磁致伸缩性能.

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