【摘 要】
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研究了混合模式应力损伤对SiGe HBT器件直流电性能的影响，对比了混合模式损伤前后器件1/f噪声特性的变化。结果表明，在SiGe HBT器件中，混合模式损伤在Si/SiO2界面产生界面态缺陷Pb,导致小注入下基极电流增加；H原子对多晶硅晶界悬挂键的钝化作用引起中等注入区基极电流减小，导致电流增益增强。混合模式损伤缺陷位于硅禁带宽度内本征费米能级附近，虽然使基区SRH复合电流增加，却不会改变器件的
【基金项目】
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国防科技工业抗辐照应用技术创新中心创新基金资助项目（KFZC2020020702）；
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研究了混合模式应力损伤对SiGe HBT器件直流电性能的影响，对比了混合模式损伤前后器件1/f噪声特性的变化。结果表明，在SiGe HBT器件中，混合模式损伤在Si/SiO2界面产生界面态缺陷Pb,导致小注入下基极电流增加；H原子对多晶硅晶界悬挂键的钝化作用引起中等注入区基极电流减小，导致电流增益增强。混合模式损伤缺陷位于硅禁带宽度内本征费米能级附近，虽然使基区SRH复合电流增加，却不会改变器件的低频噪声特性。
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