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阐述了表面工艺制造MEMS时造成粘附现象的主要方面,并对其进行了完整的理论分析,得出粘附力的大小与器件所处环境的湿度、温度和结构的材料、表面情况以及相对运动等因素有关,并简介了各种技术方法在结构防粘附中的应用。
MEMS微结构粘附问题研究
【摘 要】
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阐述了表面工艺制造MEMS时造成粘附现象的主要方面,并对其进行了完整的理论分析,得出粘附力的大小与器件所处环境的湿度、温度和结构的材料、表面情况以及相对运动等因素有关
【机 构】
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西北工业大学微/纳米系统实验室; 西北工业大学微/纳米系统实验室 陕西西安710072; 陕西西安710072;
【出 处】
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航空精密制造技术
【发表日期】
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2004年期
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