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器件模型作为工艺与设计之间的接口,对保证集成电路设计成功具有决定意义。本文介绍了BSIM3模型的原理,并完成了低温下（77K）BSIM3模型的参数提取。同时探讨了使用参数提取软件的具体工作步骤。
基于BSIM3的低温MOSFET模型及参数提取
【摘 要】
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器件模型作为工艺与设计之间的接口,对保证集成电路设计成功具有决定意义。本文介绍了BSIM3模型的原理,并完成了低温下（77K）BSIM3模型的参数提取。同时探讨了使用参数提取软件
【机 构】
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华北光电技术研究所
【出 处】
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激光与红外
【发表日期】
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2013年9期
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