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硅单晶片经过切片、研磨等机械加工后，其表面因机械加工产生的应力而形成有一定深度的损伤层。通常采用化学腐蚀（酸腐蚀或碱腐蚀）来消除表面的损伤层，达到一定的表面平坦度。
硅单晶片腐蚀
【摘 要】
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硅单晶片经过切片、研磨等机械加工后，其表面因机械加工产生的应力而形成有一定深度的损伤层。通常采用化学腐蚀（酸腐蚀或碱腐蚀）来消除表面的损伤层，达到一定的表面平坦度。
【机 构】
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洛阳单晶硅集团有限责任公司,洛阳,471000
【出 处】
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军民两用技术与产品
【发表日期】
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2015年16期
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