Si_3N_4和Si_3N_4/SiO_2驻极体薄膜的化学表面修正

来源 :同济大学学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户:lovehlq
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采用补偿法对六甲基二硅胺烷 (hexamethyedisilane ,HMDS)和二氯二甲基硅烷 (dichlorodimethsiliane ,DCDMS)化学表面修正恒压电晕充电硅基氮化硅 (Si3N4)薄膜驻极体及氮化硅 /二氧化硅 (Si3N4/SiO2 )薄膜驻极体的电荷储存稳定性进行了比较性的研究 .实验结果表明 ,经过化学表面修正后 ,驻极体薄膜在高湿环境中的电荷储存稳定性显著提高 ;在低于 2 0 0℃时 ,HMDS和DCDMS化学表面修正的效果相当 ;DCDMS化学表面处理具有较高的耐热性 . The chemical surface modification of hexamethyldisilazane (HMDS) and dichlorodimethsiliane (DCDMS) was performed by using the compensation method. The corona-charged Si3N4 thin film electret and nitrogen The charge storage stability of Si3N4 / SiO2 thin film electret has been comparatively studied.The experimental results show that the charge storage stability of the electret thin film in high humidity environment after chemical surface modification The properties of HMDS and DCDMS were similar when the temperature was below 200 ℃. The DCDMS chemical surface treatment had higher heat resistance.
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