Mo对多弧离子镀(Ti,Mo)xN涂层民性能的影响

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采用Ti/Mo复合靶,用多弧离子镀技术沉积了(Ti,Mo)xN多元涂层,研究了Mo对该涂层组织与性能的影响。结果表明,涂层的主要结构为(Ti,Mo)2N,其中MMo 溶度可达4.56%(质量分数)并具有较高的湿微硬度、抗氧化笥和低的孔隙率。在沉积过程中存原着多元合金涂层与复合靶的成分离析现象,这与靶材的结构有关。
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