【摘 要】
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反应离子深刻蚀（DRIE）是目前MEMs加工中便捷有效的主流加工工艺之一．开发较为快捷有效的工艺仿真模型与工具，对于工艺的数值预报，有着重要的作用．通过对现有表面演化算法的比较，建立
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反应离子深刻蚀（DRIE）是目前MEMs加工中便捷有效的主流加工工艺之一．开发较为快捷有效的工艺仿真模型与工具，对于工艺的数值预报，有着重要的作用．通过对现有表面演化算法的比较，建立了一种基于单一表面演化算法的反应离子深刻蚀模型，有效地解决了运算效率、材料区分等问题及对原表面演化算法稳定性的改善，并对深刻蚀中的淀积模型进行了改进．与实验结果较为一致的模拟结果验证了本文模型的有效性．
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