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纳米级微量误差校正装置
纳米级微量误差校正装置
来源 :磨床与磨削 | 被引量 : 0次 | 上传用户:natelie_hu
【摘 要】
:
本文主要讲述一种新型的机械式纳米级误差校正装置的设计。 This article focuses on the design of a new type of mechanical nanoscale error correction device.
【作 者】
:
黎永明
李存昌
【机 构】
:
华东工业大学!200093,华东工业大学!200093
【出 处】
:
磨床与磨削
【发表日期】
:
1995年02期
【关键词】
:
误差校正装置
斜契
机械系统
位移检测
刻线
传动误差
双频激光干涉仪
传动链
精密仪器设备
弹簧力
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本文主要讲述一种新型的机械式纳米级误差校正装置的设计。 This article focuses on the design of a new type of mechanical nanoscale error correction device.
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