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近些年，微加工的发展趋势越来越引起人们的关注。微加工工艺一般均采用激光加工技术，如微切削、微刻蚀、微钻削、微观构造等。就激光微加工系统而言，激光器的性能指标会直接影响到微加工产品的质量。高脉冲能量，短脉冲，高质量光束的激光源是激光微加工应用的必备条件。德国TRUMPF公司研发出一种专门适用于微加工的激光加工系统。